惠塔光电材料

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产品名称 : 钽靶材

型号 : 2021913152533

材质 : 钽

规格 : Φ(25mm-800mm) x (3mm～28mm); (1mm～25mm)x≤(10mm-800mm)x≤2000mm

密度 : 16.6

折射率 :

外观 : 灰色圆片, 方片

纯度 : 3N, 4N, 5N

应用 : 半导体镀膜和光学镀膜

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产品详细:

钽靶材：钽平面靶材、钽多弧靶材

牌号：RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)

公差：直径公差+/- 0.254；

再结晶：最少95%；

晶粒度：最小40μm；

表面粗糙度：Ra 0.8 最大；

平整度：0.1mm or 0.10% 最大

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