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P型M6单晶硅片
产品名称 : P型M6单晶硅片
型号 : 2022217143944
材质 : 单晶硅
规格 : Wafer Side length:166±0.25mm; Wafer Diameter:φ223±0.25 mm
密度 : 
折射率 : 
外观 : 
纯度 : 
应用 : 
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  产品详细:
 

Growth   method

CZ

Crystalline

Mono-crystalline

Conductivity   type

P-type

Dopant

Boron, Gallium

Oxygen  concentration[Oi]

≤8E+17   at/cm3

Carbon  concentration[Cs]

5E+16   at/cm3

Etch pit   density(dislocation density)

500 cm-3

Surface   orientation

<100>±3°

Orientation   of pseudo square sides

<010>,<001>±3°

Resistivity

0.5-1.5 Ωcm

Thickness

180  20/10 µm;

170 20/10 µm


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