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产品
>
溅射靶材
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陶瓷靶材
> ITO旋转靶材
产品名称 :
ITO旋转靶材
型号 :
202199134353
材质 :
In2O3+SnO2
规格 :
ID:133-138mm; OD: 151-169mm; L: 150-260mm
密度 :
Relative density: ≥ 99.5%
折射率 :
电阻率≤1.6X10-4 Ω·cm
外观 :
黑色管状
纯度 :
4N
应用 :
ITO导电膜,LCD、LED等
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产品详细:
ITO靶材的生产工艺
1.热等静压法
2.热压法
3.烧结法
采用磁控溅射的方法,将ITO靶材溅射到镀膜玻璃或其它基板上形成ITO膜。
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