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产品名称 : ITO旋转靶材

型号 : 202199134353

材质 : In2O3+SnO2

规格 : ID:133-138mm; OD: 151-169mm; L: 150-260mm

密度 : Relative density: ≥ 99.5%

折射率 : 电阻率≤1.6X10-4 Ω·cm

外观 : 黑色管状

纯度 : 4N

应用 : ITO导电膜，LCD、LED等

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产品详细:

ITO靶材的生产工艺

1.热等静压法

2.热压法

3.烧结法

采用磁控溅射的方法，将ITO靶材溅射到镀膜玻璃或其它基板上形成ITO膜。

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